新型真空微型陶瓷电机可用于纳米级定位 下载
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- 传感器技术,传感与控制技术
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- 传感与控制技术,传感器技术
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正文:nologies (nst)公司推出一种新型真空微型陶瓷squiggle电机——sq-2000c,可以自动进行真空装置的临界校准操作,无需机械馈通或步进电机。这款新型电机可用于各种产品的纳米级定位,如半导体制造和测试、电子扫描镜、离子束显微镜及扫描离子分光镜。
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正文:nologies (nst)公司推出一种新型真空微型陶瓷squiggle电机——sq-2000c,可以自动进行真空装置的临界校准操作,无需机械馈通或步进电机。这款新型电机可用于各种产品的纳米级定位,如半导体制造和测试、电子扫描镜、离子束显微镜及扫描离子分光镜。
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