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扬州国润半导体申请基于单片机的磁控溅射电源自动控制方法及系统专利,提高了电源输出稳定性

2026年09月05日 04:04
 

国家知识产权局信息显示,扬州国润半导体科技有限公司申请一项名为“基于单片机的磁控溅射电源自动控制方法及系统”的专利,公开号CN122553674A,申请日期为2026年5月。

专利摘要显示,本发明提供了基于单片机的磁控溅射电源自动控制方法及系统,涉及电源控制技术领域,所述方法包括:通过三相四线输入端获取目标电压,对目标电压进行滤波,生成第一直流电压进行转换,确定第二直流电压,对第二直流电压进行调制,施加于开关变压器初级绕组,通过单片机输出脉宽调制信号进行管推挽通断控制开关变压器初级绕组,获得输出直流工作电压,实时采集输出电流结合输出直流工作电压进行磁控溅射电源的闭环控制调节,解决了现有技术存在磁控溅射电源输出功率无法随工艺变化实时准确跟踪、控制精度较差的技术问题。通过三相整流滤波与推挽PWM闭环控制,实现输出功率实时跟踪与稳定调节,提高了电源输出稳定性的技术效果。

天眼查资料显示,扬州国润半导体科技有限公司,成立于2018年,位于扬州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本500万人民币。通过天眼查大数据分析,扬州国润半导体科技有限公司参与招投标项目4次,专利信息31条,此外企业还拥有行政许可7个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。